石英坩埚生产工艺过程会产生大量石英粉尘，加上现场循环式空调机组的设计，空调机组滤网更换频次极高。根据现场空调机组现状、安装空间以及石英坩埚生产工艺产生大量粉尘的特点，要想达到万级洁净效果，必须重点解决车间内回风口进入颗粒物过多的问题，否则无法保证整体净化系统的效率。

解决方案：

考虑到万级洁净室对于0.5um颗粒数量的要求，目前产品技术在一次净化效率尚无法达到相关洁净标准，推荐 使用循环的方式实现最终的效果。

以等离子体净化技术代替中效滤网和大部分高效滤网的除尘，核心部件（等离子体反应器）可通过清洁重复使 用，减少中效滤网的使用成本。